这一年多来，全球半导体产能紧张，台积电等芯片制造公司也在积极扩大产能，光刻机之类的设备很抢手，在这个关键时刻，全球光刻机一哥ASML的工厂发生火灾，目前损失还在评估中。据报道，ASML公司在德国柏林的工厂突然发生了火灾，目前可以确认没有人员伤亡，但具体的损失情况还不确定。
ASML公司在给媒体发布的声明中指出，评估损失需要几天时间，现在就提出是否影响今年业绩或者就损害索赔等问题还为时尚早。
起火的公司前身是Berliner Glas，ASML公司2020年才收购了这家公司，后者主要为ASML光刻机制造光学系统，这是光刻机的三大核心部件之一。
2021年10月底，ASML发布了Q3财报，净销售额52亿欧元（约合386亿元），毛利率51.7%，净利润17亿欧元（约合126亿元）。官方预计四季度销售额49亿到52亿欧元，毛利率在51%到52%。
ASML称，三季度，EUV光刻机系统的订单量达到了29亿欧元，且当季的出货量和收入创下历史新高。目前，ASML主力EUV光刻机是TWINSCAN NXE:3600D，其在客户那里也达到了每小时加工160片晶圆的创纪录效率。
DUV（深紫外）光刻机方面，完成出货1000台ArF（氟化氩浸没式光刻系统），这距离第一台浸没式光刻机（XT:1700Fi）出货过去了15年。
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